Il sensore del fronte d'onda ultravioletto, caratterizzato da un'elevata risoluzione di fase di 2NM RMS e da un'estrema resistenza alle vibrazioni. Dispone inoltre di una risoluzione di 512×512 pixel (262.144 punti di fase), in grado di effettuare misurazioni di interferenza sul piano focale posteriore. La tecnologia richiede che la sorgente luminosa abbia una bassa coerenza ed elimina la necessità di sfasamento. Con il sistema di imaging ultravioletto, il dispositivo è in grado di misurare il fronte d'onda in tempo reale.
nome del prodotto |
Sensore del fronte d'onda ultravioletto |
Gamma di lunghezze d'onda |
200nm~450nm |
Dimensione obiettivo |
13,3 mm×13,3 mm |
Risoluzione spaziale |
26μm |
Risoluzione del campionamento |
512×512(262144pixel) |
Risoluzione di fase |
<2nmRMS |
Precisione assoluta |
10 nm RMS |
Gamma dinamica |
90μm(256min) |
Frequenza di campionamento |
32 fps |
Velocità di elaborazione in tempo reale |
10 Hz(Risoluzione completa) |
Tipo di interfaccia |
USB3.0 |
Dimensione |
70 mm×46,5 mm×68,5 mm |
Peso |
circa 240 g |
◆Spettro UV banda 200nm~450nm
◆ Risoluzione ultraelevata di 512×512 (262144) punti di fase
◆Auto-interferenza della luce a canale singolo, nessuna luce di riferimento richiesta
◆Risoluzione di fase elevata RMS di 2 nm
◆Proprio come l'imaging, costruzione del percorso ottico facile e veloce
◆Supporta raggi collimati e raggi non collimati ad alto NA
◆Prestazioni antivibranti estremamente potenti, nessuna necessità di isolamento ottico delle vibrazioni
Questo sensore del fronte d'onda ultravioletto BOJIONG utilizzato per la misurazione dell'aberrazione del sistema ottico, la calibrazione del sistema ottico, la misurazione della forma della superficie piatta (wafer), la misurazione della forma della superficie sferica ottica, ecc.
Rilevamento del fronte d'onda del raggio laser |
Risposta al rilevamento del fronte d'onda dell'ottica adattiva in modalità Zernike |
Esempio di misurazione dell'aberrazione del sistema ottico
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Esempi di misura di calibrazione di sistemi ottici
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Esempio di misurazione della rugosità superficiale del wafer
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Misurazione della morfologia con microincisione - campione di difetto 1 # -114 linee |
BOJIONG Sensore del fronte d'onda ultravioletto sviluppato da un team di professori dell'Università di Zhejiang e dell'Università Tecnologica di Nanyang di Singapore, con tecnologia brevettata internamente, combina diffrazione e interferenza per ottenere una comune interferenza di taglio trasversale a quattro onde, con sensibilità di rilevamento e prestazioni antivibranti superiori e può realizzare interferometria dinamica in tempo reale e ad alta velocità senza isolamento dalle vibrazioni. La misurazione in tempo reale mostra un frame rate superiore a 10 fotogrammi. Allo stesso tempo, il sensore FIS4 ha una risoluzione di fase ultraelevata di 512×512 (260.000 punti di fase), la banda di misurazione copre 200nm~15μm, la sensibilità di misurazione raggiunge 2nm e la ripetibilità di misurazione è migliore di 1/1000λ ( RMS). Può essere utilizzato per l'analisi della qualità del raggio laser, il rilevamento del campo di flusso del plasma, la misurazione in tempo reale della distribuzione del campo di flusso ad alta velocità, la valutazione della qualità dell'immagine del sistema ottico, la misurazione del profilo microscopico e l'imaging quantitativo della fase di cellule biologiche.
FIS4 Parametri tecnici di ciascuna serie di prodotti |
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Prodotto |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
OROLOGIO FIS4 |
FIS4-HS |
FIS4-Cell |
FIS4-NIR |
Gamma di lunghezze d'onda |
200~450nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
900~1200 nm |
Dimensione obiettivo mm2 |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
Risoluzione spaziale |
26μm |
23,6μm |
26μm |
24,4μm |
23,6μm |
26μm |
Pixel dell'immagine |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
Risoluzione dell'uscita di fase |
512×512 (262144 pixel) |
300×300(90000pixel) |
512×512(262144pixel) |
420×420(176400pixel) |
300×300(90000pixel) |
512×512(262144pixel) |
Risoluzione di fase |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
Precisione assoluta |
10 nm RMS |
10 nm RMS |
15 nm RMS |
10 nm RMS |
10 nm RMS |
15 nm RMS |
Gamma dinamica |
90μm (256min) |
110μm (150 minuti) |
162μm (256min) |
132μm (210 minuti) |
110μm (150 minuti) |
270μm (256min) |
Frequenza di campionamento |
32 fps |
24 fps |
45 fps |
107 fps |
24 fps |
45 fps |
Velocità di elaborazione in tempo reale |
10Hz (Risoluzione completa) |
10Hz (Risoluzione completa) |
10Hz (Risoluzione completa) |
10Hz (Risoluzione completa) Supporta l'elaborazione batch ritardata |
10Hz (Risoluzione completa) |
10Hz (Risoluzione completa) |
Tipo di interfaccia |
USB3.0 |
TAGLIO |
USB3.0 |
TAGLIO |
TAGLIO |
USB3.0 |
Interfaccia esterna |
- |
- |
- |
- |
Porta C |
- |
Dimensioni mm2 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
peso |
circa240 g |
circa 120 g |
circa240 g |
circa 120 g |
circa 120 g |
circa240 g |
Indirizzo
N. 578 Yingkou Road, distretto di Yangpu, Shanghai, Cina
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