Bojiong (Shanghai) Precision Machinery Technology Co., Ltd
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Sensore di fronte d'onda ultravioletto
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Sensore di fronte d'onda ultravioletto

Per il rilevamento del fronte d'onda delle forme della superficie del wafer planari nella gamma di lunghezze d'onda da 200 nanometri a 450 nanometri, Bojiong ha introdotto il sensore del fronte d'onda ultravioletto. Utilizzando la tecnologia di interesse personale singolo, non richiede un raggio di riferimento. I nostri prodotti e servizi sono ampiamente utilizzati in campi come la produzione ottica, la ricerca aerospaziale, biomedica ed energetica. Espandiamo continuamente la nostra capacità produttiva, migliorando le nostre capacità tecniche e abbiamo creato un solido quadro operativo aziendale.


Al centro del sensore Wavefront UV FIS4 si trova in rivoluzionaria tecnologia di diffrazione di codifica randomizzata di Bojiong. Questa tecnologia pionieristica consente l'interferenza sul piano focale posteriore anche con una coerenza minima della fonte di luce, riducendo significativamente i vincoli sulla coerenza della fonte di luce ed eliminando efficacemente il requisito per lo spostamento di fase. Integrato con un sistema di imaging ultravioletto avanzato, il sensore FIS4 UV Wavefront offre capacità di misurazione del fronte d'onda in tempo reale, esibendo una resistenza di vibrazione eccezionale e robustezza. Incredibilmente, raggiunge la precisione su scala nanometrica anche senza sistemi di isolamento delle vibrazioni. Questa capacità apre nuove possibilità per misurazioni ad alta precisione in ambienti diversi e esigenti. Bojiong Optoelectronics è destinato a rivoluzionare la misurazione e l'analisi delle prestazioni ottiche, guidando l'industria verso un'era senza precedenti di precisione ed efficienza. Impostando nuovi parametri di riferimento per l'accuratezza e la facilità operativa, il sensore FIS4 UV Wavefront consente a ricercatori e industrie a spingere i confini dell'innovazione ottica.

 

Specifiche :

 

Tipo di sorgente luminosa

Laser continuo , laser a impulsi , LED, lampada alogena e altre fonti di luce a banda larga

Intervallo di lunghezze d'onda

200nm ~ 400nm 

Dimensione target

13,3 mm × 13,3 mm

Risoluzione spaziale

26 m m

Risoluzione dell'uscita di fase

512 × 512

Precisione assoluta

10nmrms

Risoluzione di fase

≤ 2nmrms

Gamma dinamica

≥90μ m

Tasso di campionamento

32fps

Velocità di elaborazione in tempo reale

5Hz (a risoluzione completa)

Tipo di interfaccia

USB3.0

Dimensione

70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm

Peso

circa240g

Metodo di refrigerazione

nessuno

 

 

Caratteristica del sensore Bojiong Fis4 UV Wavefront

 

 

 

◆ UV Spectrum 200nm ~ 400nm banda

◆ Risoluzione di fase ad alta fase di 2 nm RMS

◆ Sviluppato a livello nazionale al 100%

◆ Interferenza auto-per sé leggera per strada, nessuna luce di riferimento richiesta

◆ Resistenza alla vibrazione estremamente forte, non è necessario un isolamento delle vibrazioni ottiche

◆ Con il design della soppressione della frangia di interferenza laser

◆ Supporto travi collimate, travi non collimate NA elevate

 

  Applicazione del sensore Bojiong Fis4 UV Wavefront

 

Questo sensore del fronte d'onda UV BOJIONG FIS4 utilizzato per la misurazione dell'aberrazione del sistema ottico, la calibrazione del sistema ottico, la misurazione della forma della superficie piana (wafer), la misurazione ottica della forma della superficie sferica, ecc.

 

Rilevamento del fronte d'onda del raggio laser

Risposta di rilevamento del fronte d'onda della modalità Ottica adattiva Zernike

Esempio di misurazione dell'aberrazione del sistema ottico

 

Esempi di misurazione della calibrazione del sistema ottico

 

Esempio di misurazione della rugosità della superficie del wafer

 

Misurazione della morfologia di micro incisione - campione di difetto 1 # -114 linee

 

 

BOJIONG FIS4 Dettagli del sensore Wavefront UV

 

Il sensore Wavefront UV Bojiong FIS4 è stato sviluppato da un team di professori dell'Università di Zhejiang e della Nanyang Technological University, Singapore. Ha una risoluzione ultra-alta di 512 × 512 (262144) punti di fase e può ottenere una misurazione del fronte d'onda ad alta precisione nella banda da 200 Nm a 400 nm. Può essere utilizzato per la misurazione dell'aberrazione del sistema ottico, la calibrazione del sistema ottico, la misurazione della superficie del piano (wafer), la misurazione della superficie sferica ottica, ecc.

FIS4 UV combina la tecnologia di diffrazione a quattro onde codificata casuale brevettata con la fotocamera UV e interferisce nella posizione del piano dell'immagine posteriore. Ha bassi requisiti per la coerenza della fonte di luce e non richiede lo spostamento di fase. Può ottenere una misurazione del fronte d'onda in tempo reale con il sistema di imaging UV. Ha una resistenza di vibrazione ultra-alta e una stabilità ultra-alta e può ottenere una misurazione di precisione a livello di NM senza isolamento delle vibrazioni.

 

 

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