Sensore interferometrico a quattro onde FIS4è sviluppato da un team di professori dell'Università di Zhejiang e dell'Università Tecnologica di Nanyang, Singapore. Dispone di tecnologia brevettata nazionale, combina diffrazione e interferenza, realizza interferenze di taglio laterale a quattro onde con percorso comune, ha una sensibilità di rilevamento eccellente e resistenza alle vibrazioni e può ottenere misurazioni interferometrici dinamiche in tempo reale e ad alta velocità senza isolamento delle vibrazioni; la frequenza dei fotogrammi di visualizzazione della misurazione in tempo reale raggiunge più di 10 fotogrammi. Allo stesso tempo, il sensore FIS4 ha una risoluzione di fase ultraelevata di 512×512 (260.000 punti di fase), la banda di misurazione copre 200nm~15μm, la sensibilità di misurazione raggiunge 2nm e la ripetibilità di misurazione è migliore di 1/1000λ ( RMS). Può essere utilizzato per l'analisi della qualità del raggio laser, il rilevamento del campo di flusso del plasma, la misurazione in tempo reale della distribuzione del campo di flusso ad alta velocità, la valutazione della qualità dell'immagine del sistema ottico, la misurazione del contorno microscopico e l'imaging quantitativo della fase delle cellule biologiche, ecc.
Sensore di interferenza FIS4 singolopercorso ottico di interferenza del raggio
Il principio di funzionamento del sensore di interferenza a quattro onde è che il fronte d'onda da rilevare viene diffratto da un reticolo ibrido codificato in modo casuale e quattro luci diffratte vengono generate in due direzioni ortogonali. Queste quattro luci diffratte interferiscono sulla superficie dell'immagine e si possono ottenere quattro frange di interferenza di taglio laterale del fronte d'onda.
Vantaggi del sensore di interferenza a quattro onde: l'interferenza del percorso ottico singolo ha una resistenza alle vibrazioni estremamente forte, non è necessaria alcuna luce di riferimento, layout semplice, non è richiesto alcun dispositivo di interferenza speciale, regolazione rapida e semplice, è possibile l'imaging in tempo reale, nessuno spostamento di fase è richiesto un processo ed è particolarmente adatto per il rilevamento ad alta precisione in ambienti di fabbrica.
