Bojiong (Shanghai) Precision Machinery Technology Co., Ltd
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Design raster ibrido con codifica casuale


ILtrasversale a quattro ondeinterferenza di taglioIl sistema di rilevamento del fronte d'onda basato su reticolo misto codificato casuale è composto principalmente da reticolo misto codificato casuale e CCD, tra cui il reticolo misto codificato casuale comprende reticolo codificato in ampiezza e reticolo di fase a scacchiera, come mostrato nella Figura 1. Il fronte d'onda da rilevare è diffratto da un reticolo ibrido codificato casuale e le due direzioni ortogonali generano rispettivamente luce diffratta di ± 1 ordine. Infine, le quattro luci diffratte si posizionano in modo errato e interferiscono tra loro durante il processo di propagazione e il CCD viene utilizzato per ricevere l'interferogramma di taglio.



FICO. 1 Sistema di interferenza di taglio trasversale a quattro onde basato su un reticolo ibrido codificato casualmente


L'interferogramma ottenuto sul piano dell'immagine CCD è un interferogramma di taglio trasversale in due direzioni mutuamente ortogonali. Il diagramma dello spettro è ottenuto mediante trasformata di Fourier e lo spettro del livello +1 in due direzioni ortogonali viene rispettivamente filtrato. Quindi viene applicata la trasformata inversa di Fourier per estrarre l'interferogramma differenziale di taglio rispettivamente in queste due direzioni. Infine, il fronte d'onda da rivelare può essere ricostruito mediante adattamento differenziale di Zernick.

L'idealetrasversale a quattro ondeinterferenza di tagliorichiede che esistano solo quattro ordini di uguale intensità luminosa nel campo di diffrazione del reticolo. Pertanto, in base allo spettro di diffrazione ideale desiderato, è possibile ottenere un reticolo ibrido codificato casuale composto da reticolo codificato in ampiezza e reticolo di fase secondo il principio di diffrazione di Fraunhofer e il metodo di codifica casuale vincolato dal flusso luminoso. Inoltre, l’apertura del fascio incidente, la distanza del reticolo e la distanza di osservazione influenzano la velocità di taglio e i risultati della misurazione del fronte d’onda e sono parametri importanti del sistema di interferenza di taglio trasversale, che devono essere considerati nel processo di ricerca.

Viene proposto un reticolo ibrido con codifica casuale per il rilevamento del fronte d'onda di interferenza di taglio trasversale a quattro onde. Esistono solo quattro livelli di intensità uguali nel campo luminoso diffrattivo, che raggiunge bene l'interferenza di taglio trasversale a quattro onde. Vengono introdotti in dettaglio il principio di progettazione del reticolo ibrido codificato casualmente e il metodo per determinare i parametri del sistema come la spaziatura dei reticoli. La distribuzione dell'ordine di diffrazione di Fraunhofer del reticolo ibrido codificato casuale è ottenuta mediante simulazione al computer e, rispetto a MHM e reticolo di fase, mostra l'ovvio vantaggio del reticolo ibrido codificato casuale nell'interferenza di taglio trasversale a quattro onde. Gli esperimenti verificano che esistono solo quattro punti di uguale intensità nel campo di diffrazione del campo lontano del reticolo ibrido codificato casuale e che l'interferogramma di taglio trasversale a quattro onde basato sul reticolo ibrido codificato casuale è stabile e non produce l'effetto Taber periodico con il cambiamento della distanza di osservazione e può ottenere un rilevamento del fronte d'onda di distorsione arbitraria rispetto all'interferometro a taglio trasversale a reticolo incrociato.

Ci sono solo quattro livelli nel campo di diffrazione di Fraunhofer e l'interferenza di taglio trasversale a quattro onde è ben realizzata. quindi, iltrasversale a quattro ondeinterferometro a tagliobasato sul reticolo ibrido codificato casuale non è solo compatto nella struttura, semplice nella regolazione dello strumento, stabile nelle frange di interferenza, ma può anche rilevare una distorsione arbitraria del fronte d'onda. Può essere utilizzato nel rilevamento del fronte d'onda e nella misurazione dell'aberrazione d'onda dell'obiettivo di proiezione fotografica.




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