Sviluppato appositamente per l'analisi del fronte d'onda in scenari industriali, di difesa e di ricerca scientifica ad alta velocità come colpi volanti e campi di flusso, ha una risoluzione ultraelevata di 420×420 (176400) punti di fase, un ampio spettro di risposta di 400-1100 nm, e 107 fotogrammi di campionamento ad alta velocità, che forniscono uno strumento di misurazione del fronte d'onda ideale per il rilevamento della rugosità superficiale dei wafer, la misurazione della micromorfologia del substrato a base di silicio e di vetro, l'ottica aerodinamica, campo di flusso ad alta velocità, misurazione della densità del plasma di gas, ecc.
FIS4-HS ad altissima velocitàsensore di interferenza a quattro ondecombina la tecnologia brevettata di diffrazione a quattro onde con codifica casuale con una fotocamera ad alta velocità e interferisce nella posizione del piano dell'immagine posteriore. Ha bassi requisiti di coerenza della sorgente luminosa e non richiede sfasamento. I normali sistemi di imaging possono ottenere la misurazione delle interferenze. Ha un'altissima resistenza alle vibrazioni, un'altissima stabilità e un'imaging ad altissima velocità. Può ottenere misurazioni di precisione a livello di nm senza isolamento dalle vibrazioni.
Caratteristiche principali
◆ Risoluzione ultraelevata di 420×420 (176400) punti di fase
◆ Frequenza fotogrammi di campionamento fino a 107 fps
◆ Auto-interferenza della luce a percorso singolo, non è necessaria alcuna luce di riferimento
◆ Banda ad ampio spettro 400nm~1100nm
◆ Risoluzione di fase elevata RMS di 2 nm
◆ Resistenza alle vibrazioni estremamente forte, nessuna necessità di isolamento ottico dalle vibrazioni
◆ Costruzione del percorso ottico semplice e veloce come l'imaging
◆ Supporto fascio collimato, fascio convergente NA grande
Applicazione del prodotto
Rilevamento della rugosità superficiale dei wafer, misurazione della micromorfologia del substrato di vetro a base di silicio, ottica aerodinamica, campo di flusso ad alta velocità, misurazione della densità del plasma gassoso.
