Per componenti di test di grandi dimensioni come wafer di silicio e wafer di zaffiro, il rilevatore di difetti superficiali di componenti ottici AOI1000 offre una risoluzione di rilevamento fino a 0,5 micrometri e un'apertura di ispezione massima di 1.000 x 600 mm. Il dispositivo è in grado di generare automaticamente report, con formati di report che includono lo standard militare statunitense MIL-PRF-13830A/B e lo standard internazionale ISO 10110-7.
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nome del prodotto |
AOI1000 Rilevatore di difetti superficiali di componenti ottici |
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Dimensione massima di rilevamento |
1000 mmX600 mm |
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Risoluzione di rilevamento |
0,5μm |
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Metodo di rilevamento |
Imaging con scansione di array di campi scuri |
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Rapporti di output |
Standard nazionali, standard militari statunitensi e report aziendali personalizzati. |
Il rilevatore di difetti superficiali di componenti ottici AOI1000 utilizza la tecnologia di visione artificiale per ottenere il rilevamento automatizzato, ad alta velocità e ad alta precisione di difetti superficiali su componenti come wafer di silicio e wafer di zaffiro, affrontando efficacemente i problemi di bassa efficienza e scarsa precisione nell'ispezione visiva . La risoluzione di rilevamento più elevata può raggiungere 0,5 micrometri e l'apertura di rilevamento massima può raggiungere 1.000 x 600 mm. La tecnologia di imaging comprende l'illuminazione anulare e l'imaging in campo scuro a microdiffusione. Il dispositivo è in grado di generare automaticamente report in vari formati, tra cui lo standard militare statunitense MIL-PRF-13830A/B e lo standard internazionale ISO 10110-7.
Adatto per il controllo di qualità di difetti superficiali in componenti ottici, wafer per finestre ottiche, wafer di silicio, wafer di zaffiro, ecc.
Difetti del rivestimento: delaminazione, danneggiamento del rivestimento, ecc.
Difetti di lucidatura: graffi, cavità, scheggiature, bolle, sporco, ecc.
Questa apparecchiatura è in grado di gestire i seguenti tipi di difetti:
◆ Illuminazione anulare multifascio
◆ Imaging a ingrandimento variabile con opzioni di ingrandimento alto e basso
◆ Precisione di rilevamento di 0,5 μm
◆ Rilevamento multi-wafer su piastra intera
◆ Motore lineare per imaging rapido
◆ Dotato di FFU (Fan Filter Unit) per garantire la pulizia interna
Illuminazione di imaging anulare multiraggio
Microscopio con zoom automatico da 1X a 8X.
Bloccaggio rapido regolabile per tutta la piastra.
I motori lineari 2D ad alta precisione garantiscono la precisione delle riprese rapide.
Output di fogli di calcolo standard militari
Visualizzazione dei risultati del test
Graffio sulla superficie del rivestimento.
Graffi
Punto del danno laser 1
Punto del danno laser 2
Punto di particolato su scala nanometrica
Fibra
Deliquescenza dei componenti
danno allo strato di membrana
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Rilevatore di difetti superficiali di componenti ottici AOI450Rilevatore di difetti superficiali di componenti ottici AOI1000 |
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Articolo |
Descrizione |
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Modello |
AOI1000 |
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Funzione dell'attrezzatura |
Rilevamento quantitativo dei difetti per componenti ottici planari con superficie ultra liscia e output di report elettronici in base ai risultati del rilevamento come standard militare statunitense, standard nazionale e standard internazionale. |
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Dimensione massima di rilevamento |
1000 mmX600 mm |
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Precisione di rilevamento |
Basso ingrandimento 5μm, alto ingrandimento 0,5μm |
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Metodo di bloccaggio |
Bloccaggio di piastre intere o bloccaggio di pezzi singoli, supporto del bloccaggio di pezzi quadrati e rotondi. |
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Metodo di livellamento |
Messa a fuoco automatica assistita dall'intero materiale della piastra, livellamento elettrico. |
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Metodo di imaging |
Illuminazione anulare, imaging in campo scuro a microdispersione, in conformità con il "Metodo di rilevamento quantitativo per difetti superficiali di componenti ottici - Metodo di imaging in campo scuro a microdispersione" descritto nello standard nazionale GB/T 41805-2022. |
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Metodo di rilevamento |
Cucitura di scansione a basso ingrandimento, quantificazione del posizionamento ad alto ingrandimento. |
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Meccanismo di scansione |
Motore lineare 2D, corsa 150 mm × 150 mm. |
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Parametri della fotocamera |
Fotocamera target di grandi dimensioni, 5 milioni di pixel. |
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Formato del rapporto |
Excel, formato Word, standard militare statunitense, standard nazionale, standard internazionale o report statistico aziendale. |
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Configurazione PC industriale |
Processore i7, memoria da 32 GB, disco rigido da 1 T, memoria video da 6 GB. |
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Dimensioni dell'attrezzatura |
900 mm × 800 mm × 2000 mm (L × L × A) |
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Tensione di alimentazione |
220 V ± 10% |
Indirizzo
N. 578 Yingkou Road, distretto di Yangpu, Shanghai, Cina
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